[发明专利]三维孔结构的测量装置与测量方法有效
| 申请号： | 201410225654.4 | 申请日： | 2014-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN105277131B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 陆海亮;周钰颖;李玉龙;王帆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/22 | 分类号： | G01B11/22;G01B11/12;G01B11/26;G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种三维孔结构的测量装置与测量方法，是基于角谱测量技术对高深宽比三维孔结构的形貌参量测量的装置与方法，能够探测待测的三维孔结构的衍射光，即实现全角谱的测量，获取的孔底面衍射光信号有利于对三维孔结构形貌的求解，测得的角谱有利于判断三维孔结构形貌的非对称性，以提高孔测量技术对孔工艺状况的测量能力，提高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 结构 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种三维孔结构的测量装置，所述装置包括：一物镜，用于将光源发出的测量光照射至待测的三维孔结构上；一探测器，位于所述物镜的后焦面或后焦面的共轭面，用于探测三维孔结构衍射光的角谱。
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