[发明专利]基于cMUT环形阵列的微型光声传感器

摘要

本发明公开了一种基于cMUT环形阵列的微型光声传感器，包括光纤头、透镜、cMUT环形阵列探头、cMUT阵元和透光保护膜。本发明具有以下有益效果：实现无损光声激发与传感的一体化微型结构，可广泛应用于血糖血氧检测、脑损伤诊断、乳腺癌普查、内窥式医学成像、工业检测与探伤等领域。

主权项

一种基于cMUT环形阵列的微型光声传感器，包括外壳（4）在其顶部和中部设有固定层（3），在固定层（3）的顶部设有光纤头（6），光纤头（6）上插有光纤（7），其特征在于：在固定层（3）的中央设置有透镜（8），在固定层（3）之下设置有黏合着cMUT环形阵列探头（13）的基底（2），其中光纤头（6）、透镜（8）、cMUT环形阵列探头（13）和基底（2）同轴设置，在基底（2）底端内部设有cMUT阵元（1），所述cMUT阵元（1）包含有矩阵排列的震动膜（11），每个震动膜（11）通过导线（12）与电极（10）连接，cMUT阵元（1）与信号线（5）连接。