[发明专利]一种用于制备LED的退火炉管腔体在审

专利信息
申请号: 201410226511.5 申请日: 2014-05-27
公开(公告)号: CN103985794A 公开(公告)日: 2014-08-13
发明(设计)人: 张道成 申请(专利权)人: 徐州东力锻压机械有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L21/324
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 221000 江苏省徐*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种用于制备LED的退火炉管腔体,包括主腔体(1)和腔门(4),主腔体(1)为圆柱形石英空心腔,还包括石英治具(2)和卡片(3);卡片(3)设置有一对,并以过主腔体(1)圆心的竖直线为中心线,对称的设置在主腔体(1)内壁上,卡片(3)的长度为主腔体(1)长度的1/2~2/3;石英治具(2)放置在主腔体(1)中,石英治具(2)两侧通过卡片(3)卡设;腔门(4)为石英腔门,腔门(4)上设置有小孔(5)。该腔体不仅可以在取放治具时稳定治具,使产品在取放过程中不易发生破碎,同时可随时监控腔体内制程过程,保证产品正常作业,提高产品的生产良率。
搜索关键词: 一种 用于 制备 led 退火 炉管
【主权项】:
 一种用于制备LED的退火炉管腔体,包括主腔体(1)和腔门(4),主腔体(1)为圆柱形石英空心腔,其特征在于,还包括石英治具(2)和卡片(3);卡片(3)设置有一对,并以过主腔体(1)圆心的竖直线为中心线,对称的设置在主腔体(1)内壁上,卡片(3)的长度为主腔体(1)长度的1/2~2/3;石英治具(2)放置在主腔体(1)中,石英治具(2)两侧通过卡片(3)卡设;腔门(4)为石英腔门,腔门(4)上设置有小孔(5)。
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