[发明专利]一种用于制备LED的退火炉管腔体在审
申请号: | 201410226511.5 | 申请日: | 2014-05-27 |
公开(公告)号: | CN103985794A | 公开(公告)日: | 2014-08-13 |
发明(设计)人: | 张道成 | 申请(专利权)人: | 徐州东力锻压机械有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/324 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221000 江苏省徐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于制备LED的退火炉管腔体,包括主腔体(1)和腔门(4),主腔体(1)为圆柱形石英空心腔,还包括石英治具(2)和卡片(3);卡片(3)设置有一对,并以过主腔体(1)圆心的竖直线为中心线,对称的设置在主腔体(1)内壁上,卡片(3)的长度为主腔体(1)长度的1/2~2/3;石英治具(2)放置在主腔体(1)中,石英治具(2)两侧通过卡片(3)卡设;腔门(4)为石英腔门,腔门(4)上设置有小孔(5)。该腔体不仅可以在取放治具时稳定治具,使产品在取放过程中不易发生破碎,同时可随时监控腔体内制程过程,保证产品正常作业,提高产品的生产良率。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 制备 led 退火 炉管 | ||
【主权项】:
一种用于制备LED的退火炉管腔体,包括主腔体(1)和腔门(4),主腔体(1)为圆柱形石英空心腔,其特征在于,还包括石英治具(2)和卡片(3);卡片(3)设置有一对,并以过主腔体(1)圆心的竖直线为中心线,对称的设置在主腔体(1)内壁上,卡片(3)的长度为主腔体(1)长度的1/2~2/3;石英治具(2)放置在主腔体(1)中,石英治具(2)两侧通过卡片(3)卡设;腔门(4)为石英腔门,腔门(4)上设置有小孔(5)。
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