[发明专利]聚焦偏移位移传感器有效
| 申请号： | 201410228575.9 | 申请日： | 2014-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN103968765A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 陆惠宗 | 申请（专利权）人： | 海宁科海光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(普通合伙) 33243 | 代理人： | 张向飞 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种聚焦偏移位移传感器，属于机械技术领域。它解决了现有的传感器测量误差大的问题。本聚焦偏移位移传感器包括一壳体，所述壳体内连接有物镜、成像镜、激光器、分光棱镜和光电位移探测器，上述的物镜、分光棱镜一、分光棱镜二、成像镜一、光电位移探测器一在壳体内由右至左设置，上述的激光器一和激光器二均位于分光棱镜一上部，所述激光器一和激光器二射出的激光相平行且上述两束激光能入射至所述的分光棱镜一上，所述的光电位移探测器二位于分光棱镜二上部，上述成像镜二位于光电位移探测器二与分光棱镜二之间。本传感器测量误差小。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦 偏移 位移 传感器 | ||
【主权项】：
一种聚焦偏移位移传感器，包括一壳体(1)，所述壳体(1)内连接有物镜(2)、成像镜、激光器、分光棱镜和光电位移探测器，其特征在于，所述激光器的数量为两个：激光器一(3)和激光器二(4)，所述成像镜的数量为两块：成像镜一(5)和成像镜二(6)，所述光电位移探测器的数量为两个：光电位移探测器一(7)和光电位移探测器二(8)，所述的分光棱镜的数量为两个：分光棱镜一(9)和分光棱镜二(10)，所述的物镜(2)位于壳体(1)的一侧，上述的物镜(2)、分光棱镜一(9)、分光棱镜二(10)、成像镜一(5)、光电位移探测器一(7)在壳体(1)内由右至左设置，上述的激光器一(3)和激光器二(4)均位于分光棱镜一(9)上部，所述激光器一(3)和激光器二(4)射出的激光相平行且上述两束激光能入射至所述的分光棱镜一(9)上，所述的光电位移探测器二(8)位于分光棱镜二(10)上部，上述成像镜二(6)位于光电位移探测器二(8)与分光棱镜二(10)之间。
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