[发明专利]一种混杂石墨烯膜、贵金属粒子和金属氧化物材料的集成氢气传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201410230643.5 | 申请日： | 2014-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN104034758A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 章伟;王瑞;许泳;李雨桐;李涛;秦薇薇;高志强;蔡依晨;杨楠;徐玫瑰 | 申请（专利权）人： | 南京益得冠电子科技有限公司;南京工业大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 王月霞;唐循文 |
| 地址： | 211106 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种混杂石墨烯膜、贵金属粒子和金属氧化物材料的集成氢气传感器及其制备方法，传感器包括基片、加热电极、导热绝缘层、检测电极，加热电极位于基片上，导热绝缘层在加热电极与检测电极之间，还包括沉积在检测电极上的金属氧化物薄膜，金属氧化物薄膜表面上沉积的贵金属粒子，石墨烯膜覆盖在沉积有贵金属粒子的金属氧化物薄膜上。所述贵金属粒子为单原子覆盖在金属氧化物薄膜上，覆盖度为0.05%-10%，颗粒尺寸为0.2nm-0.4nm，随机均匀排列。所述金属氧化物薄膜厚度为10nm-2μm。所述石墨烯膜厚度0.5-1.2nm。本发明提供的集成氢气传感器能够同时实现对氢气检测和监测的高灵敏度和高选择性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 混杂 石墨 贵金属 粒子 金属 氧化物 材料 集成 氢气 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种集成氢气传感器，包括基片、加热电极、导热绝缘层和检测电极，加热电极位于基片上，导热绝缘层在加热电极与检测电极之间，其特性在于：还包括沉积在检测电极上的金属氧化物薄膜，金属氧化物薄膜表面上沉积有贵金属粒子，石墨烯膜覆盖在沉积有贵金属粒子的金属氧化物薄膜上。
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