[发明专利]一种四纤毛仿生MEMS矢量水声传感器微结构有效
| 申请号： | 201410232154.3 | 申请日： | 2014-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN104062632B | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 张国军;丑修建;刘俊 | 申请（专利权）人： | 苏州中盛纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G01S5/20 | 分类号： | G01S5/20;B81B3/00 |
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| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种四纤毛仿生MEMS矢量水声传感器微结构，包括正方形框架和架设于所述正方形框架中央的“井”字形悬梁臂，所述“井”字形悬梁臂的各段梁由宽段和对称设置于所述宽段两侧的窄段组成，所述窄段上分别设置有阻值相等的压敏电阻，所述压敏电阻共形成两组惠斯通全桥，所述两组惠斯通全桥分别测量两个相互垂直方向上的水生信号，各个正方形连接体上均固定的设置有垂直纤毛。本发明利用MEMS技术将四根仿生纤毛集成在一个芯片上，并且采用“井”字形悬梁臂结构，通过各段梁窄‑宽‑窄的形式，提高局部应力集中，从而提高压敏电阻的阻值变化，进而提高结构的灵敏度，解决了现有的MEMS仿生水听器灵敏度与频响范围之间的矛盾。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纤毛 仿生 mems 矢量 传感器 微结构 | ||
【主权项】：
一种四纤毛仿生MEMS矢量水声传感器微结构，包括采用MEMS微加工技术加工获得的正方形框架(5)和架设于所述正方形框架(5)中央的“井”字形悬梁臂(9)；其特征在于，所述“井”字形悬梁臂(9)的各段梁由宽段(7)和对称设置于所述宽段两侧的窄段(8)组成，所述各段梁通过位于所述“井”字形悬梁臂(9)交叉点处的正方形连接体(6)连接；所述窄段(8)上分别设置有阻值相等的压敏电阻(10)，所述压敏电阻(10)共形成两组惠斯通全桥，所述两组惠斯通全桥分别测量两个相互垂直方向上的水声信号；所述位于“井”字形悬梁臂(9)交叉点处的各个正方形连接体(6)上均固定的设置有垂直纤毛。
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