[发明专利]带有电极的喷头装置有效

专利信息
申请号: 201410235874.5 申请日: 2014-05-30
公开(公告)号: CN105297127B 公开(公告)日: 2019-04-05
发明(设计)人: 金一诺;王坚;王晖 申请(专利权)人: 盛美半导体设备(上海)有限公司
主分类号: C25F3/30 分类号: C25F3/30
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 施浩
地址: 201203 上海市浦东新区*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明揭示了一种带有电极的喷头装置,该喷头装置包括绝缘基座、外电极、外绝缘遮盖、内电极、内绝缘遮盖、排液槽及绝缘导流管。绝缘基座具有绝缘基体。外电极固定并覆盖在绝缘基体的内侧壁及顶壁。外绝缘遮盖包括绝缘管体及由绝缘管体顶端部的外侧壁向外延伸形成的绝缘盖体,绝缘管体收容于外电极的收容腔并伸出该收容腔外,绝缘盖体位于固定在绝缘基体顶壁的外电极的上方,绝缘管体的内侧壁围成的通道被定义为主流体通道,绝缘管体的外侧壁与外电极的内侧壁之间间隔一定距离,形成辅助流体通道。内电极设置在外绝缘遮盖的绝缘管体内。内绝缘遮盖罩设在内电极的外围,内绝缘遮盖的顶端低于外绝缘遮盖的绝缘管体的顶端。排液槽收集抛光液。
搜索关键词: 带有 电极 喷头 装置
【主权项】:
1.一种带有电极的喷头装置,其特征在于,包括:绝缘基座,所述绝缘基座具有绝缘基体;外电极,所述外电极固定并覆盖在所述绝缘基座的绝缘基体的内侧壁及顶壁,所述外电极具有贯穿外电极的收容腔;外绝缘遮盖,所述外绝缘遮盖包括中空的绝缘管体及由绝缘管体顶端部的外侧壁向外延伸形成的绝缘盖体,所述绝缘管体收容于所述外电极的收容腔并伸出该收容腔外,所述绝缘盖体位于固定在所述绝缘基体顶壁的外电极的上方,所述绝缘管体的内侧壁围成的通道被定义为主流体通道,所述绝缘管体的外侧壁与所述外电极的内侧壁之间间隔一定距离,形成辅助流体通道;内电极,所述内电极设置在所述外绝缘遮盖的绝缘管体内;内绝缘遮盖,所述内绝缘遮盖罩设在所述内电极的外围,所述内绝缘遮盖的顶端低于所述外绝缘遮盖的绝缘管体的顶端;排液槽,所述排液槽收集具有气泡的抛光液;及绝缘导流管,所述绝缘导流管将内电极产生的气泡排至排液槽。
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