[发明专利]一种多层结构有机阻变存储器的3D打印制备方法有效

专利信息
申请号: 201410237604.8 申请日: 2014-05-31
公开(公告)号: CN104409632B 公开(公告)日: 2017-05-10
发明(设计)人: 李福山;郭太良;寇丽杰;吴朝兴 申请(专利权)人: 福州大学
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/30;H01L51/40
代理公司: 福州元创专利商标代理有限公司35100 代理人: 蔡学俊
地址: 350108 福建省福州市*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明涉及一种多层结构有机阻变存储器的3D打印制备方法,该多层结构有机阻变存储器在衬底上形成包括下电极、有机功能层、上电极、两层有机功能层间的中间电极层、与各层电极并行同厚度的介质层的多层结构。其通过上电极与下电极之间的有机功能层与中间电极层的N次叠加实现多层结构。该多层存储器完全通过3D打印及时实现制备,该器件的制备工艺简单,过程易控,且可通过柔性衬底制成柔性器件,用于高度集成的大容量多维存储器领域,具有很高的应用价值。
搜索关键词: 一种 多层 结构 有机 存储器 打印 制备 方法
【主权项】:
一种多层结构有机阻变存储器的3D打印制备方法,其特征在于,所述的多层结构有机阻变存储器的结构是在衬底上形成的,包括:下电极、有机功能层、上电极、两层有机功能层间的中间电极层、与各层电极并行同厚度的介质层的多层结构有机阻变存储器,按如下操作步骤进行:1)建模,利用电脑建模软件设计多层结构有机阻变存储器的模型,将该模型的软件指令转化为3D打印的机械设备指令,从而控制打印头的运动路径数据,并控制紫外光的照射时间、熔融腔的温度及激光的照射时间;2)通过3D打印技术在衬底上打印下电极及中间介质层,将用于制备电极及中间介质层的材料加入到相应的基材熔融腔或液槽中,使其从各自的打印头中打出,经固化装置迅速固化;通过软件控制打印头的移动,打印完成下电极层;3)通过3D打印技术打印有机功能层,将用于制备有机功能层的材料加入相应的基材熔融腔或液槽中,使其从各自的打印头中打出,经固化装置迅速固化;通过软件控制打印头的移动,打印完成有机功能层;4)以此方式通过3D打印技术逐层打印多层结构有机阻变存储器的各层,最后完成上电极的打印。
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