[发明专利]一种具有抗闩锁能力的可关断SCR器件

摘要

本发明涉及电子技术，具体的说是涉及一种具有抗闩锁能力的可关断SCR器件。当外加ESD脉冲时，RC触发电路向栅极电压提供高电位，开启NMOS，从而有效的开启SCR，达到泄放电流的目的；ESD脉冲电流泄放后，RC触发电路向栅极电压提供低电位，开启PMOS，减小寄生NPN晶体管的增益，使得闩锁效应的条件不能满足，有效的关断SCR，从而防止上电情况下闩锁效应的发生。本发明尤其适用于ESD保护用SCR器件。

主权项

一种具有抗闩锁能力的可关断SCR器件，其特征在于，包括P型衬底(201)、分别设置在P型衬底(201)上层两侧的第一N型阱区(202)和第二N型阱区(203)；其中，第一N型阱区(202)中设置有相互独立的第一P型重掺杂区(205)和第一N型重掺杂区(204)，其中第一P型重掺杂区(205)靠近器件栅极；第二N型阱区(203)上层远离第一P型重掺杂区(205)的一侧设置有第二P型重掺杂区(206)；第一N型阱区(202)和第二N型阱区(203)之间的P型衬底(201)上表面设置有栅氧化层(207)，栅氧化层(207)上表面设置有多晶硅栅(208)；第一N型重掺杂区(204)和第一P型重掺杂区(205)上表面接阴极；第二P型重掺杂区(206)上表面接阳极。