[发明专利]半导体器件及其制造方法有效
申请号: | 201410240041.8 | 申请日: | 2014-05-30 |
公开(公告)号: | CN104576734B | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 柳惟信;吴宝石;孙振荣 | 申请(专利权)人: | 美格纳半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L21/336 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王萍;陈炜 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了半导体器件及其制造方法。该半导体器件包括:阱区域;设置在阱区域中的漏极区域和源极区域;设置在阱区域上方的栅极电极;设置在栅极电极下面的薄栅极绝缘层和厚栅极绝缘层,厚栅极绝缘层被设置成比薄栅极绝缘层更靠近漏极区域;以及设置在栅极电极下方的延伸漏极结区域。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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