[发明专利]薄膜图案的制作方法及基板结构在审
| 申请号： | 201410242822.0 | 申请日： | 2011-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN103984205A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王伯贤;吴易骏;蔡忠仁;陈威晟 | 申请（专利权）人： | 联胜（中国）科技有限公司;胜华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 511700 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜图案的制作方法及基板结构。该薄膜图案的制作方法包括下列步骤。提供一第一介质基材，第一介质基材上形成有一离型膜。形成一薄膜于离型膜上。对薄膜进行光刻制作工艺，以形成一薄膜图案。提供一暂存基材以及一接合层。以接合层接合于暂存基材与薄膜图案之间。转移薄膜图案及离型膜至暂存基材上。接着，提供一第二介质基材以及一粘着层。以粘着层贴附于离型膜与第二介质基材之间。转移薄膜图案与离型膜至第二介质基材上。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 图案 制作方法 板结 | ||
【主权项】：
一种薄膜图案的制作方法，包括：提供一第一介质基材，该第一介质基材上形成有一绝缘的离型膜；在该离型膜上形成一薄膜图案；提供一暂存基材以及一接合层；以该接合层接合于该暂存基材与该薄膜图案之间；转移该薄膜图案及该离型膜至该暂存基材上；提供一第二介质基材以及一黏着层；以该黏着层贴附于该离型膜与该第二介质基材之间；以及转移该薄膜图案与该离型膜至该第二介质基材上。
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