[发明专利]用于紫外探测的薄膜体声波谐振器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种用于紫外探测的薄膜体声波谐振器及其制备方法，包括连续堆叠在同一个衬底上成为一体的压电振荡堆和声波反射层；压电振荡堆包括自下而上依次沉积的底电极、压电层和上电极；上电极的材质为具有紫外透射性且能够与压电层形成肖特基结的金属薄膜，便于紫外光线透过上电极照射在压电层上；当紫外光照射在上电极时，入射的光量子在ZnO耗尽区会诱导产生电子-空穴对，增大了材料中载流子的浓度，降低了体声波在压电振荡堆内的传播速度，从而薄膜体声波谐振器的谐振频率发生改变。本发明中用于紫外探测的薄膜体声波谐振器的尺寸较小，制作成本低，制备工艺简单，并且能够反复使用。

主权项

一种用于紫外探测的薄膜体声波谐振器，其特征在于：包括连续堆叠在同一个衬底上成为一体的压电振荡堆和声波反射层；其中，压电振荡堆包括自下而上依次沉积的底电极、压电层和上电极；所述上电极的材质为具有紫外透射性且能够与压电层形成肖特基结的金属薄膜，便于紫外光线透过上电极照射在压电层上；所述声波反射层包括基片、基片上沉积的支撑层、压电振荡堆沉积在支撑层上；所述声波反射层为空气隙结构、或布拉格反射层结构、或背腔刻蚀结构；当声波反射层为背腔刻蚀结构，所述基片上设置有刻蚀形成的空气腔。