[发明专利]一种薄膜太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种薄膜太阳能电池及其制备方法，其包括衬底层、背电极层、光吸收层、缓冲层、高阻透明导电窗口层、低阻透明导电窗口层和采集电极，所述低阻透明导电窗口层包括阵列型纳米孔；所述制备方法，包括(1)依次在衬底层上制备背电极层、光吸收层、缓冲层、高阻透明导电窗口层和低阻透明导电窗口层；(2)制备阵列型纳米孔；(3)制备采集电极。低阻透明导电窗口层上阵列型纳米孔的制备可降低低阻透明导电窗口层对光的吸收性，增大光吸收层的进光量。在采集电极制备过程中，电极材料可填充纳米孔，提高采集电极与低阻透明导电窗口层的有效接触面积，提高太阳能电池的输出功率，该制备方法比现有技术工艺简便，设备简单，易于操作。

主权项

一种薄膜太阳能电池，包括衬底层，以及沿远离衬底层的方向依次设置在衬底层上的背电极层、光吸收层、缓冲层、高阻透明导电窗口层、低阻透明导电窗口层和采集电极，其特征在于，所述低阻透明导电窗口层包括阵列型纳米孔，所述阵列型纳米孔的深度小于或等于所述低阻透明导电窗口层的厚度；所述阵列型纳米孔的开孔面积占所述低阻透明导电窗口层面积的50％～80％，单个所述纳米孔横截面的截面积为1×104～4×106nm2。