[发明专利]可测压比的嵌入式分子泵

摘要

一种可测压比的嵌入式分子泵，包括壳体、转子，在壳体的顶部设置有端面法兰，在壳体和转子之间设置第一级分子泵，第一级分子泵顶部连接盘状第三级分子泵，在第三级分子泵的装配槽内安装第二级分子泵，端面法兰和第三级分子泵连接。在壳体的下部外侧设置有入口测压装置，在端面法兰的顶端分别连接有第一级分子泵出口测压装置、第二级出口测压装置和第三级出口测压装置。本发明结构简单，易于加工和装配，保证了第三级分子泵出口处测压的可行性，解决了连续引压的难题，并且避免了引压过程中的断裂、漏气、堵塞等风险，同时解决了引压管由机器内部穿出而无法密封的问题，也保证了在正常工作时其安全保护装置能够正常工作不受影响。

主权项

一种可测压比的嵌入式分子泵，包括壳体（1），在壳体（1）内安装有转子（2），在壳体（1）的顶部设置有端面法兰（3），其特征在于：在壳体（1）和转子（2）之间设置有第一级分子泵（4），第一级分子泵（4）顶部过盈连接盘状第三级分子泵（6），在第三级分子泵（6）的装配槽（23）中过盈连接第二级分子泵（5），端面法兰（3）和第三级分子泵（6）螺钉连接，在壳体（1）的下部外侧设置有入口测压装置（7），在端面法兰（3）的顶端分别连接有测量第一级分子泵（4）压力的第一级分子泵出口测压装置（8）、测量第二级分子泵（5）压力的第二级出口测压装置（9）和测量第三级分子泵（6）压力的第三级出口测压装置（10）。