[发明专利]压电装置及电子设备

摘要

本公开涉及一种压电装置及电子设备，其中，压电装置包括振子、压电驱动单元、以及第一压电检测器。振子包括第一表面、沿第一轴方向形成的第一凹槽、以及平行于第一凹槽形成的第二凹槽。压电驱动单元包括被设置在第一凹槽中并在正交于第一轴方向以及平行于第一表面的第二轴方向中彼此相对的第一电极对，以及被设置在第一电极对之间并且能够使得振子振动的第一压电体。第一压电检测器包括被设置在第二凹槽中并在第二轴方向彼此相对的第二电极对，以及被设置在第二电极对之间并且能够检测振子的振动的第二压电体。

主权项

1.一种压电装置，包括：振子，包括：第一表面，其特征在于：所述振子还包括：在所述第一表面中沿第一轴方向形成的第一凹槽，以及平行于所述第一凹槽在所述第一表面中形成的第二凹槽，所述压电装置还包括：压电驱动单元，包括：被设置在所述第一凹槽中并在第二轴方向彼此相对的第一电极对，所述第二轴方向正交于所述第一轴方向并平行于所述第一表面，以及被设置在所述第一电极对之间的第一压电体，所述压电驱动单元被配置为能够由于在所述第一电极对之间的电压施加而使所述振子在平行于所述第一表面的平面中振动；以及第一压电检测器，包括：被设置在所述第二凹槽中并在所述第二轴方向彼此相对的第二电极对，以及被设置在所述第二电极对之间的第二压电体，所述第一压电检测器被配置为能够检测在平行于所述第一表面的平面中的所述振子的振动。