[发明专利]蒸镀装置、蒸镀设备及蒸镀方法无效

专利信息
申请号: 201410247239.9 申请日: 2014-06-05
公开(公告)号: CN104004995A 公开(公告)日: 2014-08-27
发明(设计)人: 张耀宇 申请(专利权)人: 上海和辉光电有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/54
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人: 赵根喜;郑特强
地址: 201500 上海市金山区*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一蒸镀装置、蒸镀设备及蒸镀方法,蒸镀装置包括:至少一蒸镀源;以及,一动力装置,接设于所述蒸镀源,所述动力装置驱动所述蒸镀源往复摇摆。本发明将现有线性蒸镀源直线扫描生产方式,改为摇摆方式来达成成膜目的。利用蒸镀源的摇摆,减少其中一个或多个喷口出气率不良时的影响,提高蒸镀气体均匀性,从而提高成膜均匀性。
搜索关键词: 装置 设备 方法
【主权项】:
一种蒸镀装置,其特征在于,包括:至少一蒸镀源,具有多个喷口;及一动力装置,接设于所述蒸镀源,所述动力装置驱动所述蒸镀源致使所述蒸镀源往复摇摆。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海和辉光电有限公司,未经上海和辉光电有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201410247239.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top