[发明专利]蒸镀装置、蒸镀设备及蒸镀方法无效
申请号: | 201410247239.9 | 申请日: | 2014-06-05 |
公开(公告)号: | CN104004995A | 公开(公告)日: | 2014-08-27 |
发明(设计)人: | 张耀宇 | 申请(专利权)人: | 上海和辉光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/54 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 赵根喜;郑特强 |
地址: | 201500 上海市金山区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一蒸镀装置、蒸镀设备及蒸镀方法,蒸镀装置包括:至少一蒸镀源;以及,一动力装置,接设于所述蒸镀源,所述动力装置驱动所述蒸镀源往复摇摆。本发明将现有线性蒸镀源直线扫描生产方式,改为摇摆方式来达成成膜目的。利用蒸镀源的摇摆,减少其中一个或多个喷口出气率不良时的影响,提高蒸镀气体均匀性,从而提高成膜均匀性。 | ||
搜索关键词: | 装置 设备 方法 | ||
【主权项】:
一种蒸镀装置,其特征在于,包括:至少一蒸镀源,具有多个喷口;及一动力装置,接设于所述蒸镀源,所述动力装置驱动所述蒸镀源致使所述蒸镀源往复摇摆。
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