[发明专利]蒸镀装置、蒸镀设备及蒸镀方法无效
| 申请号： | 201410247239.9 | 申请日： | 2014-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN104004995A | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张耀宇 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 赵根喜;郑特强 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一蒸镀装置、蒸镀设备及蒸镀方法，蒸镀装置包括：至少一蒸镀源；以及，一动力装置，接设于所述蒸镀源，所述动力装置驱动所述蒸镀源往复摇摆。本发明将现有线性蒸镀源直线扫描生产方式，改为摇摆方式来达成成膜目的。利用蒸镀源的摇摆，减少其中一个或多个喷口出气率不良时的影响，提高蒸镀气体均匀性，从而提高成膜均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其特征在于，包括：至少一蒸镀源，具有多个喷口；及一动力装置，接设于所述蒸镀源，所述动力装置驱动所述蒸镀源致使所述蒸镀源往复摇摆。
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