[发明专利]一种三氢化铝表面包覆改性方法

摘要

本发明公开了一种三氢化铝表面包覆改性方法，采用原子层沉积技术在三氢化铝粉末表面沉积纳米厚度的金属氧化物或金属物质将其包覆，以提高三氢化铝粉末热稳定性，包括，S1：将三氢化铝粉体放入腔体内并抽真空；S2：加热腔体到设定温度且温度均匀稳定后，通入流化气，使三氢化铝预分散；S3：原子层沉积反应，当腔体内的温度达到50～130℃时，开始原子层沉积反应；S4：重复多次原子层沉积反应，使粉体表面沉积厚度不断增长，通过控制沉积反应循环的次数从而控制在三氢化铝粉体表面沉积的金属氧化物或金属的厚度，实现三氢化铝粉体包面包覆厚度为1～1000nm包覆层，以实现粉体的稳定化。

主权项

一种三氢化铝表面包覆改性方法，采用原子层沉积技术在三氢化铝粉末表面沉积纳米或亚微米厚度的金属氧化物或金属物质将其包覆，以提高三氢化铝粉末热稳定性，其特征在于，包括以下步骤：S1：将三氢化铝粉体放入腔体内，具体为，将三氢化铝粉体平铺在粉体夹持器的滤网上，然后将粉体夹持器放入原子层沉积反应器的腔体内，盖好腔体，保证腔体洁净，并抽真空；S2：加热腔体，具体为，加热腔体使腔体内用于对粉体进行预分散的流化区域温度达到设定温度且均匀稳定，在加热过程中不断通入流化气，使三氢化铝预分散；S3：原子层沉积反应，具体为，当腔体内的温度达到50～130℃时，开始原子层沉积反应，一次原子层沉积反应包含以下子步骤：(a)向腔体通入第一种前驱体，使其与三氢化铝粉体表面的化学基团发生反应；(b)通入载气清洗管路，清除腔体中剩余的第一前驱体和反应副产物；(c)向腔体通入第二种前驱体，使其与吸附在三氢化铝粉体表面的第一种前驱体的外露基团发生反应；(d)通入载气清洗管路，清除腔体中剩余的第二种前驱体和反应副产物；完成一次原子层沉积反应，实现金属氧化物或金属物质在粉体表面的一次沉积，沉积厚度增长一次；S4：重复多次原子层沉积反应，具体为，重复步骤S3，所述原子层沉积反应循环进行，粉体表面沉积厚度不断增长，实现对三氢化铝表面的包覆。