[发明专利]电流垂直平面式磁阻读取传感器

摘要

本发明涉及电流垂直平面式磁阻读取传感器，其中堆叠层沿堆叠方向延伸；平行于堆叠方向的堆叠的边缘表面还平行于读取传感器的支承面并形成其至少一部分，支承面设计成在操作中面向记录介质，堆叠层包括第一触点层；铁磁性的自由层，其在第一触点层的上方；在铁磁性层上方的非磁性层；铁磁性的自旋注入层，在非磁性层上方；以及在自旋注入层上方的第二触点层，使得电流能够在第二触点层和第一触点层之间沿电流垂直于平面的方向、平行于堆叠方向流动，堆叠层还包括一系列结构，每个结构在第一触点层和自由层两者中形成，每个结构的边缘表面与堆叠的边缘表面齐平；该系列结构沿平行于支承面且垂直于堆叠方向的方向延伸。还涉及读取传感器的制造方法。

主权项

一种电流垂直平面式(CPP)磁阻读取传感器(1)，包括堆叠层(11‑15)，其中：所述堆叠层沿着堆叠的堆叠方向(z)延伸；以及平行于所述堆叠方向的堆叠的边缘表面(S)还平行于所述读取传感器的支承面并形成其至少一部分，所述支承面设计成在操作中面向记录介质，并且其中所述堆叠层包括：第一触点层(15)；铁磁性的自由层(14)，其磁性取向根据所施加的磁场变化，所述自由层在所述第一触点层的上方；在铁磁性层的上方的非磁性层(13)；铁磁性的自旋注入层(12)，在非磁性层的上方；以及在自旋注入层的上方的第二触点层(11)，使得电流能够在第二触点层和第一触点层之间沿着电流垂直于平面的方向(z)、平行于所述堆叠方向流动，并且其中堆叠层还包括一系列结构(30)，其中：所述系列结构中每一个都在第一触点层(15)和自由层(14)两者中形成，所述结构中每一个的边缘表面与堆叠的所述边缘表面齐平；以及所述系列结构沿着平行于支承面且垂直于堆叠方向的方向(x)延伸，其中自由层和第一触点层的结构通过沟槽(35)限定，其中每一个沟槽具有主延伸方向(y)，所述主延伸方向垂直于堆叠方向(z)并且横向于支承面。