[发明专利]一种声场和磁场耦合式高灵敏度的质量称重传感器有效
申请号: | 201410247912.9 | 申请日: | 2014-06-06 |
公开(公告)号: | CN104061987A | 公开(公告)日: | 2014-09-24 |
发明(设计)人: | 詹姆斯·刘;克莉丝汀·刘 | 申请(专利权)人: | 北京至感科技有限公司 |
主分类号: | G01G7/00 | 分类号: | G01G7/00;G01G7/02 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 杨立 |
地址: | 100089 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种声场和磁场耦合式高灵敏度的质量称重传感器,包括封装好的质量称重传感器,质量称重传感器的内部设有石英振荡电路,石英振荡电路的两个电极分别设置在质量称重传感器顶部的石英传感器晶片的上下两面,在石英传感器晶片的上表面和下表面分别镀有一层铬镀层,在铬镀层的表面上镀有一层金镀层,在传感器晶片的上表面上的金镀层的表面上镀有表面敏感镀层,质量称重传感器的内部还设有磁性装置,磁性装置位于所述石英传感器晶片的正下方。本发明可运用在测量酸碱性、铁磁颗粒浓度、用于制作声波传感器等多方面,较之传统的质量称重传感器,具有较高的灵敏度,而且结构简单,使用方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 声场 磁场 耦合 灵敏度 质量 称重 传感器 | ||
【主权项】:
一种高灵敏度的声场和磁场耦合式质量称重传感器,包括封装好的质量称重传感器(1),所述质量称重传感器的内部设有石英振荡电路,所述石英振荡电路的两个电极分别设置在所述质量称重传感器(1)顶部的石英传感器晶片(2)上下两面,其特征在于,在所述石英传感器晶片(2)的上表面和下表面分别镀有一层铬镀层(4),在所述铬镀层(4)的表面上镀有一层金镀层(5),所述质量称重传感器的内部还设有磁性装置(3),所述磁性装置(3)位于所述石英传感器晶片(2)的正下方。
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