[发明专利]用于电子断层成像术的方法有效
| 申请号： | 201410247938.3 | 申请日： | 2014-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN104224216B | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | U.鲁伊肯;R.肖恩马克斯;J.A.M.安托纽斯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | A61B6/03 | 分类号： | A61B6/03 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 谢攀,刘春元 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于电子断层成像术的改进的方法。电子断层成像术是耗时的过程，因为必须获取典型地在50‑100个图像之间的大量的图像以形成一个断层成像。本发明教导了通过连续而非逐步地倾斜样本来缩短更快得多地获取该量的图像所需的时间的方法。由此消除了减少各步骤之间的振动所需的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子 断层 成像 方法 | ||
【主权项】：
一种对样本（108）进行电子断层成像的方法，所述样本被安装在电子显微镜（100）中的样本支架（110）上，所述电子显微镜包括用于沿光轴（102）生成能量电子束的电子源（104），和用于使能量电子束聚焦以及偏转从而利用能量电子束辐射样本的光学元件（106、112、122、128‑i），所述样本支架能够使样本相对于能量电子束定向以及倾斜，所述方法包括通过利用能量电子束辐射样本来获取图像的倾斜系列，每个图像是以相关联的独特倾斜角度获取的，以读出速度将所述图像记录在摄像机上，其特征在于，在所述摄像机连续获取图像的倾斜系列的同时连续地改变倾斜角度，并且连续地改变样本的位置以将样本保持在光轴上而无需为了稳定样本支架的位置损失时间。
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