[发明专利]一种氧化锆和氧化钇混合物陶瓷靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201410250089.7 | 申请日： | 2014-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN103992109A | 公开（公告）日： | 2014-08-20 |
| 发明（设计）人： | 邵玲;王广欣;赵学义 | 申请（专利权）人： | 昆山海普电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/48 | 分类号： | C04B35/48;C04B35/622 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;汪青 |
| 地址： | 215311 江苏省苏州市昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氧化锆和氧化钇混合物陶瓷靶材的制备方法，包括依次进行的步骤如下：将ZrO2颗粒与Y2O3颗粒混合物采用ZrO2研磨球进行球磨混合，球磨混合后的混合粉料的粒径为10nm~100nm；对混合粉料进行冷等静压成型，获得混合物陶瓷靶材的毛坯；将毛坯进行高温烧结，获得混合物陶瓷靶材的素坯；对素坯进行机械加工，获得混合物陶瓷靶材。本发明通过采用成分和ZrO2颗粒与Y2O3颗粒混合物的成分基本相同的ZrO2研磨球进行球磨混合，混合粉料中杂质的进入减少，纯度提高，且混合粉料细，混合均匀；另外，采用冷等静压的方式获得的毛坯表面光滑且致密度高；本发明的制备方法操作简单，生产成本低，生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锆 氧化钇 混合物 陶瓷 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化锆和氧化钇混合物陶瓷靶材的制备方法，其特征在于：包括依次进行的步骤如下：（1）、将纯度均大于99.9%的ZrO2颗粒与Y2O3颗粒混合物采用ZrO2研磨球进行球磨混合，其中，所述的ZrO2颗粒占所述的混合物的质量分数为92%~94%，所述的Y2O3颗粒占所述的混合物的质量分数为6%~8%，球磨混合后的混合粉料的粒径为10 nm ~100nm；（2）、对所述的混合粉料进行冷等静压成型，获得混合物陶瓷靶材的毛坯，所述的毛坯的体积密度为3.8 g/cm3~4.1 g/cm3；（3）、将所述的毛坯进行高温烧结，获得混合物陶瓷靶材的素坯；（4）、对所述的素坯进行机械加工，获得体积密度为5.2 g/cm3~5.4 g/cm3的所述混合物陶瓷靶材。
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