[发明专利]用于多重图案化组分配条件的布局检查系统有效
申请号: | 201410251321.9 | 申请日: | 2014-06-06 |
公开(公告)号: | CN104951584B | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 谢曜任;刘凯明 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | G06F17/50 | 分类号: | G06F17/50 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人: | 章社杲;孙征 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供了一种方法,包括从布局设计中提取一个或多个布局图案的多重图案化组分配信息。该布局设计对应于电路设计,而一个或多个布局图案对应于电路设计的节点。硬件处理器判断提取的多重图案化组分配信息是否符合节点的多重图案化组分配条件集。本发明还提供了一种布局检查系统。 | ||
搜索关键词: | 用于 多重 图案 组分 条件 布局 检查 系统 | ||
【主权项】:
1.一种检查布局设计的方法,包括:从所述布局设计中提取一个或多个布局图案的多重图案化组分配信息,所述布局设计对应于电路设计,而所述一个或多个布局图案对应于所述电路设计的节点;以及通过硬件处理器来判断提取的所述多重图案化组分配信息是否符合所述节点的多重图案化组分配条件集,其中,所述电路设计可以网表文件的形式被访问,所述网表文件的内容符合预定类型的网表语法;以及所述方法还包括:从修改后的网表文件中提取所述多重图案化组分配条件集,所述修改后的网表文件包括具有所述网表文件的内容的第一部分和具有所述多重图案化组分配条件集的第二部分;或者从不同于所述网表文件的补充文件中提取所述多重图案化组分配条件集,从所述补充文件中提取所述多重图案化组分配条件集包括根据所述预定类型的网表语法或专有语法来解析所述补充文件。
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