[发明专利]一种相位增敏型集成波导光学生化传感器

摘要

本发明公开了一种相位增敏型集成波导光学生化传感器，属于光传感技术领域。该集成波导光学生化传感器包括光路部分、传感支路和电路部分。波导微环与第二直光波导构成第一传感支路，二者处于过耦合状态，波导微环为该支路提供相位增敏功能，通过对第二光波导定向耦合器的两输出端口光功率探测和比值计算进行传感解调。本发明通过波导微环实现相位增敏，减小传感器尺寸；传感池覆盖两路光传输波导通道，降低了传感器制备工艺的复杂性；采用光功率比值解调方法快速获得待测生化样品的浓度等信息，不受激光器输出光功率起伏的影响；基于光电集成工艺把各部分集成到同一平台上，实现光学生化传感器的微型化和片上传感系统，稳定性高、操作便捷的优点。

主权项

一种相位增敏型集成波导光学生化传感器，其特征在于：该集成波导光学生化传感器(1)包括光路部分、传感支路和电路部分；光路部分在集成波导光学生化传感器(1)前部，包括激光器(2)，第一直光波导(3)，第一光波导定向耦合器(4)，第二直光波导(5)，第三直光波导(6)，波导微环(7)，传感池(8)，第二光波导定向耦合器(9)，第四直光波导(10)和第五直光波导(11)，第一光电探测器(12)和第二光电探测器(13)；电路部分在集成波导光学生化传感器(1)后部，包括第一连接电路(14)，第二连接电路(15)，数据采集与处理单元(16)；传感支路包括第一传感支路(17)和第二传感支路(18)；第二直光波导(5)与波导微环(7)构成第一传感支路(17)，两者之间处于过耦合状态，波导微环(7)为第一传感支路(17)提供相位增敏功能；第三直光波导(6)为第二传感支路(18)；第二直波导(5)与第三直波导(6)的长度相同；传感池(8)覆盖第一传感支路(17)和第二传感支路(18)；第一直光波导(3)为光波输入端口，第四直光波导(10)和第五直光波导(11)分别为两个光波输出端口；第四直光波导(10)和第五直光波导(11)长度相同。