[发明专利]一种废液废固分离回收系统

摘要

本发明属于半导体晶圆撕金去胶领域，具体地说是一种废液废固分离回收系统，包括废液罐、压力罐、冷却装置及制成品罐，废液罐的入口通过管路与撕金去胶机相连通，撕金去胶机产生的废液废固排入废液罐中；废液罐的出口通过管路依次与压力罐、冷却装置及制成品罐相连通，压力罐内设有加热装置；废液罐中的废液废固在压力罐中通过所述加热装置加热，产生的废液蒸汽与废固分离、通过冷却装置变为液体流入制成品罐中，废固留在压力罐中，制成品罐中的液体供撕金去胶机循环使用。本发明通过低压蒸馏，完成对撕金去胶机工作过程中产生的废液与废固完全分离，贵重金属得到回收，化学药液得到净化可再次使用。

主权项

一种废液废固分离回收系统，其特征在于：包括废液罐(2)、压力罐(7)、冷却装置及制成品罐(11)，其中废液罐(2)的入口通过管路与撕金去胶机(1)相连通，所述撕金去胶机(1)产生的废液废固排入所述废液罐(2)中；所述废液罐(2)的出口通过管路依次与压力罐(7)、冷却装置及制成品罐(11)相连通，所述压力罐(7)内设有加热装置；所述废液罐(2)中的废液废固在压力罐(7)中通过所述加热装置加热，产生的废液蒸汽与废固分离、通过所述冷却装置变为液体流入制成品罐(11)中，所述废固留在压力罐(7)中，所述制成品罐(11)中的液体供所述撕金去胶机(1)循环使用；所述制成品罐(11)通过管路连通有真空源(13)，该管路上安装有真空阀(12)。