[发明专利]用于气体集成输送系统的质量流量控制装置、系统及方法

摘要

本发明公开了一种适用于集成气体输送系统的质量流量控制装置，包括输入端、输出端、传感器单元、流量控制阀以及控制单元。控制单元包括A/D转换器、微处理器和阀控制电路。A/D转换器将输入端接收的实际设定信号转换为第一数字信号，将传感器单元输出流量检测信号转换为第二数字信号。微处理器包括存储模块、设定信号校准模块和计算模块。存储模块存储表征目标设定信号和所述实际设定信号的固有误差值的修正参数；设定信号校准模块根据修正参数对第一数字信号进行修正；计算模块根据修正后的第一数字信号以及第二数字信号的偏差进行运算以产生控制信号。阀控制电路根据控制信号产生开度控制信号以控制流量控制阀。本发明能够提高流量控制精度。

主权项

一种质量流量控制装置，包括输入端、输出端、传感器单元、流量控制阀以及控制单元，所述控制单元根据所述输入端接收的实际设定信号及所述传感器单元输出的流量检测信号产生开度控制信号并输出至所述流量控制阀，其特征在于，所述控制单元包括：A/D转换器，用于将所述实际设定信号转换为第一数字信号，将所述流量检测信号转换为第二数字信号；微处理器，与所述A/D转换器相连，其包括：存储模块，用于存储修正参数，所述修正参数表征从所述质量流量控制装置外部的客户终端发出的目标设定信号和所述质量流量控制装置接收的所述实际设定信号的固有误差值，该固有误差不因所述目标设定信号的变化而改变；设定信号校准模块，根据所述修正参数对所述第一数字信号进行修正；计算模块，根据修正后的所述第一数字信号以及所述第二数字信号的偏差进行运算以产生控制信号；以及误差值读取模块，其与所述A/D转换器和所述存储模块相连，用于在所述目标设定信号为0时依据一触发信号读取所述A/D转换器输出的第一数字信号并存储至所述存储模块中作为所述修正参数；以及阀控制电路，与所述微处理器相连，用于根据所述控制信号产生所述开度控制信号以控制所述流量控制阀。