[发明专利]拼接式旋转靶及其形成方法无效
| 申请号： | 201410261333.X | 申请日： | 2014-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN104032275A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 储培鸣;江昌翰 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;郑特强 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本公开提供一种拼接式旋转靶及其形成方法。所述拼接式旋转靶包括内管和与其同轴心的靶材坯料以及设置在所述内管与所述靶材坯料之间的接合层，其特征在于，所述靶材坯料由至少两个靶材坯料段构成，且所述两个靶材坯料段之间的接缝处存在拼接面。通过改变拼接部位的形状，将拼缝在时间上累积的影响分散到更大的面积区域，减小了拼接处的膜质差异，从而减小了器件不良发生的可能性，提高了产品合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 拼接 旋转 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种拼接式旋转靶，包括内管和与其同轴心的靶材坯料以及设置在所述内管与所述靶材坯料之间的接合层，其特征在于，所述靶材坯料由至少两个靶材坯料段构成，且所述两个靶材坯料段之间的接缝处存在拼接面。
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