[发明专利]基于静电斥力的电容式射频MEMS开关

摘要

本发明提出了一种基于静电斥力驱动的电容式RFMEMS开关，涉及微机电系统（MEMS）领域，特别是射频微机电开关（RFMEMS）的应用。该发明设计的射频微机电开关包括可动桥膜部分、固定驱动电极部分和传输线基底部分，工作时在固定驱动电极部分中两端固定电极上接电源正极，将在可动桥膜周围产生一个不均匀电场，此不均匀电场使得可动桥膜受力远离固定电极并向上移动，最终与悬于可动桥膜上方的信号传输线接触，实现开关接通。本发明提出的基于静电斥力的电容式RFMEMS开关可以从根本上解决传统依靠静电引力工作时导致的介质层中电荷积累问题，从而在很大程度上提高开关的可靠性。

主权项

一种基于静电斥力的电容式射频MEMS开关，包括上表面加工有氧化层（2）的衬底（1），所述衬底（1）的上表面两侧平行分布有地线a（3）和地线b（4）；所述衬底（1）的上表面沿地线长度方向架设有信号传输线；其特征在于：所述信号传输线的下方设有具有弹性的可动桥膜，所述可动桥膜的两端分别支撑于地线a（3）和地线b（4）上，所述可动桥膜的上表面中部设有介质层（11），当可动桥膜受力向上弯曲形变后，其上的介质层（11）与信号传输线的下表面接触；所述衬底（1）的上表面中部固定设有并排分布的驱动电极a（8）、驱动电极b（9）及驱动电极c（10），所述驱动电极a（8）、驱动电极b（9）及驱动电极c（10）均与位于两侧的地线a（3）和地线b（4）平行、且位于可动桥膜的下方。