[发明专利]一种全金属电容极板微加速度传感器

摘要

本发明提供了一种全金属电容极板微加速度传感器。所述的传感器为三层全金属结构，包括动极板和上、下固定极板；其中，动极板包含锚点、质量块、悬臂梁、框架。其连接关系是，所述的锚点与悬臂梁固定连接；悬臂梁和质量块固定连接，构成敏感芯片的可动部分；锚点和框架固定连接；质量块与上、下固定极板之间存在间隙，间隙上、下表面均为全金属结构；所述的上固定极板与动极板锚点上表面通过键合连接；所述的下固定极板与锚点下表面通过键合连接。本发明的键合采用热压键合完成，质量块与上、下极板间的空隙可以灵活精确控制。

主权项

一种全金属电容极板微加速度传感器，其特征在于：所述的传感器包括上固定极板（16）、下固定极板（17）、动极板（11）；其中，动极板（11）含有锚点（1）、悬臂梁（4）、质量块（5）、上表面动电极（65）、下表面动电极（66）、锚点上键合面（61）、锚点下键合面（62）、上传输电极（63）、下传输电极（64）、框架（12）、引线盘（14）；上固定极板（16）含有上限位凸台（81）、上键合面（71）、上引线盘（13）、上基板（2）；下固定极板（17）含有下限位凸台（82）、下键合面（72）、下引线盘（15）、下基板（3）；其连接关系是，所述的锚点（1）与锚点上键合面（61）、锚点下键合面（62）分别固定连接；所述的锚点（1）与悬臂梁（4）固定连接；所述的锚点（1）与框架（12）、引线盘（14）分别固定连接；所述的悬臂梁（4）与上传输电极（63）、下传输电极（64）分别固定连接；所述的悬臂梁（4）与质量块（5）固定连接；所述的质量块（5）与上表面动电极（65）、下表面动电极（66）分别固定连接；所述的上固定极板（16）与上限位凸台（81）固定连接；所述的上限位凸台（81）与上键合面（71）固定连接；所述的上引线盘（13）与上基板（2）固定连接；所述的下固定极板（17）与下限位凸台（82）固定连接；所述的下限位凸台（82）与下键合面（72）固定连接；所述的下引线盘（15）与下基板（3）固定连接；所述的动极板（11）与上固定极板（16）、下固定极板（17）分别通过键合连接。