[发明专利]一种在医用钛合金表面制备镨掺杂氮化钛涂层的方法有效
申请号: | 201410264533.0 | 申请日: | 2014-06-13 |
公开(公告)号: | CN104046951A | 公开(公告)日: | 2014-09-17 |
发明(设计)人: | 马胜利;张明;徐可为 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | C23C14/48 | 分类号: | C23C14/48;C23C14/06;A61L31/08;A61L31/02;A61L27/30;A61L27/06 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 陆万寿 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种在医用钛合金表面制备镨掺杂氮化钛涂层的方法,包括下列步骤:在医用钛合金表面上采用磁控溅射的方法制备氮化钛涂层;将带有氮化钛涂层的医用钛合金转移到等离子体浸没式离子注入机的真空室A内,该真空室A内的两端分别设有镨靶和试样盘A,带有氮化钛涂层的医用钛合金固定在试样盘A上,调节真空室A的真空度,阴极使用镨靶当作离子源,调节试样盘A的转速,并依靠水冷对试样盘A降温,然后在常温下进行镨离子注入,在医用钛合金表面制备得到镨掺杂氮化钛涂层。本发明制备的镨掺杂氮化钛涂层,在血浆中的抗腐蚀性明显优于普通氮化钛涂层,血管内皮细胞可以在该涂层大量增殖并铺展,显著的改善了医用钛合金的生物学性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 医用 钛合金 表面 制备 掺杂 氮化 涂层 方法 | ||
【主权项】:
一种在医用钛合金表面制备镨掺杂氮化钛涂层的方法,其特征在于,包括以下步骤:1)在医用钛合金表面上采用磁控溅射的方法制备氮化钛涂层,其中,制备得到的氮化钛涂层的厚度为500nm‑2μm;2)将带有氮化钛涂层的医用钛合金转移到等离子体浸没式离子注入机的真空室A(7)内,该真空室A(7)内的两端分别设有镨靶(5)和试样盘A(6),带有氮化钛涂层的医用钛合金固定在试样盘A(6)上,调节真空室A(7)的真空度为10‑4‑10‑3Pa,阴极使用镨靶(5)当作离子源,调节试样盘A(6)的转速为8~35转/分钟,并依靠水冷对试样盘A(6)降温,然后在常温下进行镨离子注入,在医用钛合金表面制备得到镨掺杂氮化钛涂层,其中,镨离子的加速电压为30KV~80KV,注入时间为0.5~1h。
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