[发明专利]一种阵列基板及其制备方法

摘要

本发明提供一种阵列基板及其制备方法，属于显示技术领域，其可解决现有的阵列基板背板电源线电阻较大造成像素间亮度非均匀性的问题。本发明的阵列基板及其制备方法，由于将背板电源线的电源导线层在阵列基板单独成层设置，电源导线层其在衬底上的投影面积可以更大，也就是电源导线层的导电截面积也可以更大，从而降低电源导线层的电阻。从而降低不同像素单元的电流差异，进而减弱在显示时产生云纹现象。 1

主权项

1.一种阵列基板，包括呈阵列分布的若干像素单元，每个像素单元包括：包括设置在衬底上的有源层；与所述有源层接触的源、漏极层，其中，源、漏极层同层间隔设置；与所述有源层绝缘设置的栅极层；其特征在于，所述的每个像素单元还包括电源导线层，所述电源导线层通过过孔直接与所述源极层连接，在源极层上设有第三绝缘层、在漏极层上设有像素电极层；

所述的电源导线层设置在衬底上，在所述的电源导线层上设有第一绝缘层，在所述的第一绝缘层上设有栅极层，在所述的栅极层上设有第二绝缘层，在所述的第二绝缘层上设有有源层，在所述的有源层上同层间隔设置源、漏极层；所述的源极层通过位于第一绝缘层和第二绝缘层中的过孔连接；

或者

所述的栅极层与衬底接触，在所述的栅极层上设有第一绝缘层，在所述的第一绝缘层上设有有源层，在所述的有源层上同层间隔设置源、漏极层；在所述的源、漏极层上设有第二绝缘层，在所述的第二绝缘层上设有电源导线层，所述的电源导线层通过位于第二绝缘层的过孔与所述的源极层相连；

所述的电源导线层在整个像素区域呈网格状布置。

2.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述的电源导线层在衬底的投影至少部分与栅极层或源、漏极层在衬底的投影重合。

3.一种权利要求1所述的阵列基板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤:

通过构图工艺在衬底上形成电源导线层的步骤。

4.如权利要求3所述的阵列基板的制备方法，其特征在于，在所述通过构图工艺在衬底上形成电源导线层的步骤之后或之前还包括：

通过构图工艺在衬底上形成有源层的步骤；

在所述电源导线层与所述有源层之间形成过孔的步骤。

5.如权利要求3或4所述的阵列基板的制备方法，其特征在于，所述的电源导线层在衬底的投影至少部分与栅极层或源、漏极层在衬底的投影重合。

6.如权利要求3所述的阵列基板的制备方法，其特征在于，所述的电源导线层采用铜或铜合金制作。