[发明专利]一种氯硅烷中不凝气的解吸方法有效
申请号: | 201410271767.8 | 申请日: | 2014-06-18 |
公开(公告)号: | CN104003403A | 公开(公告)日: | 2014-08-27 |
发明(设计)人: | 何鹏;李斌;甘居富 | 申请(专利权)人: | 四川永祥多晶硅有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人: | 冉鹏程 |
地址: | 614899 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明涉及一种氯硅烷中不凝气的解吸方法,包括如下工艺步骤:第一步:对混合气进行换热降温;第二步:换热降温后,进行一次洗涤;第三步:对一次洗涤后的气相进行一次冷凝;第四步:对一次冷凝后的气相加压至0.8-1.5MPa;第五步:加压后的气相进行二次洗涤;第六步:二次洗涤后的气相进行二次冷凝;第七步:二次冷凝后的气相进行三次冷凝;第八步:三次冷凝后的气相进行四次冷凝;将所述第二步、第五步、第七步和第八步产生的液相全部进行解吸,解吸后再沸得到氯硅烷液。本发明该解吸装置充分利用了混合气中的余热,大大减小了整个工艺的能耗,同时还能保证解吸后硅烷含不凝气的量在5ppm以下。 | ||
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【主权项】:
一种氯硅烷中不凝气的解吸方法,其特征在于:包括如下工艺步骤:第一步:对混合气进行换热降温;第二步:换热降温后,进行一次洗涤;第三步:对一次洗涤后的气相进行一次冷凝;第四步:对一次冷凝后的气相加压至0.8‑1.5MPa;第五步:加压后的气相进行二次洗涤;第六步:二次洗涤后的气相进行二次冷凝;第七步:二次冷凝后的气相进行三次冷凝;第八步:三次冷凝后的气相进行四次冷凝;将所述第二步、第五步、第七步和第八步产生的液相全部进行解吸,解吸后再沸得到氯硅烷液。
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