[发明专利]一种硅芯的洁净处理工艺有效
| 申请号： | 201410272522.7 | 申请日： | 2014-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN104018227A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 李川;李斌;甘居富;陈彬 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/00 | 分类号： | C30B33/00;B24B1/00;B08B3/12 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 邹翠 |
| 地址： | 614899 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明为了解决硅芯的洁净过程中酸洗对人体和环境的危害问题，提供了一种硅芯的洁净处理工艺。包括以下步骤：A、采用陶瓷金刚石砂轮作为刀具对硅芯进行磨削整形，利用纯水作为冷却剂在硅芯开丫时对刀具和丫口进行冲洗；B、整形完毕后的硅芯用纯水在磨削的地方进行冲洗；C、用四氯化碳擦拭硅芯后，将硅芯放入超声池中进行超声；D、从超声池中取出硅芯放进烘箱，在100-120℃的温度下烘干；E、将烘干后的硅芯放进真空烘箱保存待用，温度设置50-80℃。该处理方法不使用酸洗，杜绝了人和酸的接触，不需要用到NOX淋洗设备以及淋洗所用的碱药，更加环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 洁净 处理 工艺 | ||
【主权项】：
一种硅芯的洁净处理工艺，其特征在于：包括以下步骤：A 采用陶瓷金刚石砂轮作为刀具对硅芯进行磨削整形，利用纯水作为冷却剂在硅芯开丫时对刀具和丫口进行冲洗；B 整形完毕后的硅芯用纯水在磨削的地方进行冲洗；C 用四氯化碳擦拭硅芯后，将硅芯放入超声池中进行超声；D 从超声池中取出硅芯放进烘箱，在100‑120 ℃的温度下烘干；E 将烘干后的硅芯放进真空烘箱保存待用，温度设置50‑80℃。
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