[发明专利]CMOS感光元件及制备方法

摘要

本发明提供了一种CMOS感光元件及制备方法，通过在感光二极管的上下方各形成一片布拉格反射镜，且两片布拉格反射镜构成了法布里-珀罗谐振腔，当特定光波的光线进入法布里-珀罗谐振腔内，可在两片布拉格反射镜之间不断进行反射,从而使得光线被局限于法布里-珀罗谐振腔之中而进一步被感光二极管层吸收，进而提高感光二极管的对特定波长光线的吸收效率。本发明相比较传统的采用感光二极管直接进行光电转换类型的CMOS感光元件对红光的感光效率可以从20％提升至60％；同时对特定光波以外的光线则影响较小，极大改善图像输出的质量。

主权项

一种CMOS感光元件，其特征在于，所述CMOS感光元件包括一衬底，所述衬底中设置有PD层，位于该衬底顶部设置有一ILD层，位于所述ILD层中设置有第一反射镜，位于所述衬底的下表面设置有第二反射镜；在所述第一反射镜和第二反射镜之间形成法布里‑珀罗谐振腔(Fabry‑Perot cavity)，以提高所述CMOS感光元件对特定光波的感光效率。