[发明专利]一种单晶圆承载腔室结构

摘要

本发明公开了一种单晶圆承载腔室结构，承载室门安装于单晶圆承载室的外表面，夹钳气缸安装于承载室门上，承载室门通过夹钳气缸实现单晶圆承载室的密封和通气，开关气缸纵向地安装于承载室门的下部，用于打开或关闭承载室门，磁感应传感器安装于单晶圆承载室的一侧，导轨安装于单晶圆承载室的左右两端，每个导轨的上下两端均安装有特氟龙圈，特氟龙圈用于减小承载室门打开或关闭时产生的压力和摩擦力；本发明通过将特氟龙作为橡胶圈的材料，由于特氟龙的不粘性和耐磨损性，永久性解决黏附导致的开门超时故障，提升机台的正常运行时间和节省人力；解决橡胶圈磨损老化后产生的问题，提升了产品硅片的良率。

主权项

1.一种单晶圆承载腔室结构，包括单晶圆承载室、承载室门、夹钳气缸、开关气缸和导轨，其特征在于，所述承载室门安装于所述单晶圆承载室的外表面，所述夹钳气缸安装于所述承载室门上，所述承载室门通过所述夹钳气缸实现所述单晶圆承载室的密封和通气，所述开关气缸纵向地安装于所述承载室门的下部，用于打开或关闭所述承载室门，所述导轨安装于所述单晶圆承载室的左右两端，每个所述导轨的上下两端均安装有特氟龙圈，所述特氟龙圈用于减小所述承载室门打开或关闭时产生的压力和摩擦力；/n还包括传感器，所述传感器设置于所述单晶圆承载室的一侧；/n所述传感器包括：光感传感器和磁感传感器；/n所述光感传感器用于感应因所述单晶圆承载室密封和通气之间的光线变化；/n所述磁感传感器用于感应所述承载室门打开或关闭而引起的磁场变化；/n所述夹钳气缸包括两个夹紧气缸和两个松开气缸。/n