[发明专利]一种超大型细晶钼平面靶的制备方法有效
| 申请号： | 201410274868.0 | 申请日： | 2014-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN104057088A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 张灵杰;张二召 | 申请（专利权）人： | 洛阳科威钨钼有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/16 | 分类号： | B22F3/16;B22F3/17;C23C14/34 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 张燕 |
| 地址： | 471000 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种超大型细晶钼平面靶的制备方法，采用纯度＞99.95%的钼粉制得，其中，钼平面靶的长度＞450㎜，宽度＞320㎜，厚度＞75㎜，制备方法是：取钼粉装入胶膜内，静压成型，后置于中频炉，氢气气氛下烧结成板坯后，置入模具中，锻打板坯模具，后置入回火炉，退火，形成细晶组织,精细加工、清洗、干燥后制得钼平面靶。本发明克服了烧结和锻打的工艺缺陷，工艺简单，易工业化生产控制，降低污染，成本低，质量提高，生产效率极大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超大型 细晶钼 平面 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种超大型细晶钼平面靶的制备方法，采用纯度＞99.95%的钼粉制得，其中，钼平面靶的长度＞450㎜，宽度＞320㎜，厚度＞75㎜，其特征在于：步骤一、取粒度2.8‑3.8μm的钼粉，装入事先制好的橡胶模套内，采160‑200MPa静压成型，后置于中频炉，在氢气的气氛下，保持温度1900‑2000℃烧结55‑65小时，烧成板坯后，备用；步骤二、从中频炉取出烧成的板坯，置入事先制好的模具中，控制板坯的温度1350‑1400℃，锻打板坯模具，锻打时控制板坯的变形量＜50%，锻打成长度＞450㎜，宽度＞320㎜，厚度＞75㎜的板状构件；步骤三、卸掉模具，取出锻打成型的板状构件，置入1000‑1200℃的回火炉中，保持1‑3小时，稳定细晶组织；步骤四、对板状构件进行机械加工，后经清洗，干燥，制得超大型细晶钼平面靶。
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