[发明专利]一种氢气传感器有效
申请号: | 201410275510.X | 申请日: | 2014-06-19 |
公开(公告)号: | CN104237320B | 公开(公告)日: | 2017-01-25 |
发明(设计)人: | 魏雄邦;李世彬;陈志;吴双红;杨小慧;肖伦 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G01N27/04 | 分类号: | G01N27/04;B82Y15/00 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙)51220 | 代理人: | 谭新民 |
地址: | 610000 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种氢气传感器,包括衬底层;至少两行金属氧化物纳米管,相邻两行金属氧化物纳米管之间相互错位排列,使得三个相邻金属氧化物纳米管之间形成管间空间;金属纳米点,形成在管间空间的顶端;电极层,形成在顶部并与金属纳米点的至少一部分电连接。本发明的实施例的氢气传感器中,采用金属纳米点/金属氧化物纳米管复合结构用作氢气传感器的敏感层,既充分利用了金属氧化物纳米管的氢敏特性及其自清洁功能,又利用了“准隔离”的金属纳米点的氢敏特性,使得这种复合结构氢气传感器能获得更好的氢敏特性。 | ||
搜索关键词: | 一种 氢气 传感器 | ||
【主权项】:
一种氢气传感器,其特征在于,包括:衬底层;至少两行金属氧化物纳米管,所述至少两行金属氧化物纳米管设置在所述衬底层上,每行金属氧化物纳米管包括至少两个金属氧化物纳米管,并且相邻两行金属氧化物纳米管之间相互错位排列,使得所述相邻两行金属氧化物纳米管之中的三个相邻金属氧化物纳米管之间形成管间空间;金属纳米点,所有所述金属纳米点形成在所述管间空间中的至少一部分的顶端处;电极层,所述电极层形成在所述至少两行金属氧化物纳米管的顶部并与所述金属纳米点的至少一部分电连接;其中所述氢气传感器还包括阻挡层,所述阻挡层设置在所述衬底层和所述至少两行金属氧化物纳米管之间。
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