[发明专利]干涉仪

摘要

本发明涉及一种干涉仪，其带有光源、分束器、测量反射器、参考后向反射器、探测器组件以及两个透明的平板。分束器将由光源发射的第一光束分开成至少一个测量光束和至少一个参考光束，通过其展开第一分开平面。测量光束在测量臂中而参考光束在参考臂中传播直至在第一结合平面中的结合地点处再结合。第一结合平面平行于第一分开平面定向。测量光束至少两次垂直地射到测量反射器上。参考光束至少一次射到参考后向反射器上。通过探测器组件可从测量和参考光束中关于测量对象的位置检测至少一个第一距离信号。透明的第一平板和透明的第二平板在光路中彼此平行地布置在光源与探测器组件之间。参考后向反射器构造在第一平板中而分束器布置在第二平板上。

主权项

1.一种干涉仪，其带有：- 光源(10;LQ)，- 分束器(23;PBS)，其将由所述光源(10;LQ)发射的第一光束分开成至少一个测量光束(M;M1,M2)和至少一个参考光束(R)，其中，通过所述测量光束(M;M1,M2)和所述参考光束(R)展开第一分开平面(AE1)，并且所述测量光束(M;M1,M2)在测量臂中而所述参考光束(R)在参考臂中传播直至在第一结合平面(VE1)中的结合地点(V)处再结合，其中，所述第一结合平面(VE1)平行于所述第一分开平面(AE1)定向，- 测量反射器(30;130;230;MR)，其布置在所述测量臂中并且与能够沿着测量方向(y)运动的测量对象(31;131;231)相连接，其中，所述测量光束(M;M1,M2)至少两次垂直地射到所述测量反射器(30;130;230;MR)上，- 参考后向反射器(RR2;RR)，其布置在所述参考臂中，其中，所述参考光束(R)至少一次射到所述参考后向反射器(RR2;RR)上，- 探测器组件(40;DET)，通过其能够从在所述结合地点(V)处叠加的干涉的测量光束(M;M1,M2)和参考光束(R)中关于所述测量对象(31;131;231)的位置检测至少一个第一距离信号，- 透明的第一平板(21;121;221;P1)和透明的第二平板(22;122;222;P2)，其在光路中彼此平行地布置在所述光源(10;LQ)与所述探测器组件(40;DET)之间，其中，所述测量反射器(30;130;230;MR)能够相对这两个平板(21;121;221;P1;22;122;222;P2)沿着所述测量方向(y)运动，以及- 所述参考后向反射器(RR2;RR)构造在所述第一平板(21;121;221;P1)中而- 所述分束器(23;PBS)布置在所述第二平板(22;122;222;P2)上。