[发明专利]基于模糊图像相关和分形小波插值的MEMS面内微运动测量方法

摘要

本发明请求保护一种基于模糊图像相关和分形小波插值的MEMS面内微运动测量方法，涉及机器视觉测量和MEMS动态测量领域。本发明提出了一种新的基于模糊图像的MEMS振幅测量方法——模糊图像相关法，充分利用了图像相关性，简化了测量流程，提高了测量精度，为进一步提高测量精度，提出了分形小波插值法，克服了一般插值法引起的图像模糊效应，将测量精度提高到了亚像素级。

主权项

一种基于模糊图像相关和分形小波插值的MEMS面内微运动测量方法，所述方法的步骤如下：(1)对原始模糊图像进行预处理，包括进行直方图均衡化和去噪；(2)对预处理后的模糊图像进行分形小波插值；(3)求插值图像沿振动方向的一阶微分；(4)计算一阶微分图像各列的自相关函数；(5)将自相关图像在行方向上相加得到一维数列，检测该数列的负峰值间距为L，则谐振器振幅A＝L/2。