[发明专利]一种圆锥量规多参数测量装置及方法

摘要

本发明提供了一种圆锥量规多参数测量装置及方法，属于精密测量技术领域。本测量装置包括激光小角度测量系统、母线直线度测量及定位系统、精密转台(21)、多齿分度台(23)和量规支架(25)；所述多齿分度台(23)固定于精密转台(21)上，所述量规支架(25)固定于多齿分度台(23)的上齿盘上；待测的圆锥量规安装在所述量规支架(25)上。

主权项

一种圆锥量规多参数测量装置，其特征在于：所述测量装置包括激光小角度测量系统、母线直线度测量及定位系统、精密转台(21)、多齿分度台(23)和量规支架(25)；所述多齿分度台(23)固定于精密转台(21)上，所述量规支架(25)固定于多齿分度台(23)的上齿盘上；待测的圆锥量规安装在所述量规支架(25)上；所述激光小角度测量系统包括He‑Ne激光器(1)、第一扩束准直镜(2)、第一反射镜(3)、第二反射镜(5)、移相分光镜(4)、第一直角棱镜(6)、第二直角棱镜(7)、第三直角棱镜(8)、第四直角棱镜(9)和第五直角棱镜(10)；所述第一直角棱镜(6)和第二直角棱镜(7)固定在精密转台(21)上，两者位于精密转台(21)的一条直径的两端，所述第一直角棱镜(6)和第二直角棱镜(7)构成正弦臂；所述第三直角棱镜(8)设置在第一直角棱镜(6)的一侧，所述第四直角棱镜(9)设置在第二直角棱镜(7)的一侧；所述第五直角棱镜(10)设置于所述第一反射镜(3)和移相分光镜(4)之间，且第五直角棱镜(10)的位置高于入射光线；在第五直角棱镜(10)的一侧设有第一光电探测器(11)，在移相分光镜(4)的一侧设有第二光电探测器(12)；所述第一反射镜(3)设置于所述第一扩束准直镜(2)的与所述He‑Ne激光器(1)相对的一侧，所述第一反射镜(3)、移相分光镜(4)、第二反射镜(5)排列在一条直线上，从而所述He‑Ne激光器(1)发出的光束经过第一扩束准直镜(2)入射到第一反射镜(3)上，经第一反射镜(3)反射后直接入射到移相分光镜(4)上，在移相分光镜(4)上光束分为两路，其中一路经过第一直角棱镜(6)反射后入射到第三直角棱镜(8)上，然后在高度方向偏移一定距离后180度折回，经过第一直角棱镜(6)后到达移相分光镜(4)，另一路入射到 第二反射镜(5)上，经第二反射镜(5)反射后入射到第二直角棱镜(7)上，经过第二直角棱镜(7)反射后入射到第四直角棱镜(9)上，然后在高度方向偏移一定距离后180度折回，依次经过第二直角棱镜(7)和第二反射镜(5)后到达移相分光镜(4)；两路光在移相分光镜(4)处会合后，一部分光经第五直角棱镜(10)反射后由第一光电探测器(11)接收，另一部分由第二光电探测器(12)接收。