[发明专利]一种水槽密封结构、水槽及硅外延设备有效
| 申请号： | 201410282566.8 | 申请日： | 2014-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN105220226B | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 庞浩 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B25/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种水槽密封结构、水槽及硅外延设备，所述水槽密封结构包括密封圈固定槽和密封圈，密封圈固定槽开设于水槽的密封面上，密封圈放置于密封圈固定槽内，密封圈的两端封堵，密封圈固定槽上开设有向水槽外侧延伸的通气孔，密封圈固定槽的底部开设有与所述通气孔联通的通气槽。本发明提供的水槽密封结构、水槽及硅外延设备中，所述水槽密封结构利用通气孔通入气体或者抽取真空，由此产生的压强通过密封圈固定槽底部的通气槽均匀传递给密封圈，均匀受力的密封圈整体挤出密封圈固定槽或者整体吸入密封圈固定槽，从而达到良好的密封效果，有利于硅外延设备散热降温，而且便于拆装与维护。 | ||
| 搜索关键词： | 水槽 密封圈固定槽 密封圈 密封结构 硅外延 通气孔 通气槽 压强 便于拆装 均匀受力 两端封堵 密封效果 散热降温 外侧延伸 联通 吸入 有向 密封 抽取 挤出 传递 维护 | ||
【主权项】：
1.一种水槽密封结构，其特征在于，包括：密封圈固定槽和密封圈；所述密封圈固定槽开设于水槽的密封面上；所述密封圈放置于所述密封圈固定槽内；所述密封圈的两端封堵，所述密封圈固定槽上开设有向水槽外侧延伸的通气孔；所述密封圈固定槽的底部开设有与所述通气孔联通的通气槽，以在通入气体或者抽取真空时将产生的压强均匀传递给密封圈。
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