[发明专利]一种基于机械张紧方式的柔性衬底薄膜微加工方法及机械张紧装置和使用方法

摘要

本发明公开了一种基于机械张紧方式的柔性衬底薄膜微加工方法，以及在该加工过程中用到的一种机械张紧装置及该装置的使用方法，属微加工领域。该方法首先清洗机械张紧装置和柔性衬底薄膜，将柔性衬底薄膜装夹于机械张紧装置中；使用标准化工艺分别在柔性衬底薄膜正面和反面加工所需结构；去除张紧装置，释放器件。本发明的有益效果(1)采用机械张紧装置，降低了柔性衬底薄膜剥离释放过程中对微结构破坏的可能性，提高了工艺效率。(2)采用机械张紧装置进行柔性衬底薄膜夹持，使得聚合物表面更平整，且不易发生翘曲，可扩展柔性衬底薄膜在高温环境下的工艺，提高了环境适应能力。(3)机械张紧装置为柔性衬底薄膜的双面工艺提供了条件支撑。

主权项

一种基于机械张紧装置的柔性衬底基微加工方法，所述机械张紧装置主要包括两个内外径完全一样的圆环；每个圆环上相应位置处都有多个周向均布的轴向孔；一个圆环上的孔为台阶通孔；另一个圆环上的孔为螺纹孔，使得两个圆环叠放在一起时，相应位置处的两孔通过螺栓连接，使得螺栓的螺母部分置于台阶通孔大段内部，且止靠在台阶通孔的台阶面上，螺柱部分与螺纹孔配合；台阶通孔小段长度与待装夹柔性衬底薄膜厚度一致；该柔性衬底基微加工方法的特征在于：包括如下主要步骤：步骤一：清洗所述机械张紧装置，去除表面原生氧化层、有机污染物、然后干燥；对柔性衬底薄膜装夹后，使得柔性衬底薄膜张紧；步骤二：将柔性衬底薄膜清洗，装夹于所述机械张紧装置中；步骤三：使用标准化工艺在柔性衬底薄膜正面加工所需结构；步骤四：使用标准化工艺在柔性衬底薄膜背面加工所需结构；步骤五：去除张紧装置，释放器件。