[发明专利]高稳定性转镜干涉仪

摘要

本发明公开了一种高稳定性转镜干涉仪，包括第一分束器、第二分束器、第一平面反射镜、第二平面反射镜、第三平面反射镜、连接机构以及倾斜反射镜：第一分束器的分束膜与第一平面反射镜平行；第二平面反射镜与第三平面反射镜平行设置构成平行反射镜组，平行反射镜组固定连接转轴；平行反射镜组与连接机构固定设置，且第一分束器以及第一平面反射镜与连接机构固定设置；倾斜反射镜具有倾角，平行反射镜组的出射光垂直入射倾斜反射镜。采用一对平行平面镜保证了入射光线和出射光线平行，第一平面反射镜和平面镜组的旋转保证了系统自稳定性和减少了探测时间，系统结构简单，降低了加工装调难度和生产成本的。

主权项

一种高稳定性转镜干涉仪，其特征在于，包括第一分束器、第二分束器、第一平面反射镜、第二平面反射镜、第三平面反射镜、连接机构以及倾斜反射镜：所述第一平面反射镜与所述第一分束器的分束膜平行；所述第二平面反射镜与所述第三平面反射镜平行设置构成平行反射镜组，所述平行反射镜组固定连接转轴；所述平行反射镜组与所述连接机构固定设置，且所述第一分束器以及所述第一平面反射镜与所述连接机构固定设置；所述倾斜反射镜具有倾角；进入所述第二分束器的光束经分光后得到的反射光到达所述第一分束器；进入所述第一分束器的光束经分光后，一路反射到达所述第一平面反射镜得到第一反射光束，另一路透射到达所述平行反射镜组得到第一透射光束；所述第一透射光束经过所述平行反射镜组后垂直入射到所述倾斜反射镜，经所述倾斜反射镜反射后沿原光路返回，再次通过所述第一分束器透射后得到第二透射光束；第一反射光束经所述第一平面反射镜反射后垂直入射到所述倾斜反射镜，经所述倾斜反射镜反射后沿原光路返回，再次通过所述第一分束器反射后得到第二反射光束；所述第二反射光线与所述第二透射光线经互相干涉。