[发明专利]一种聚对二甲苯有机靶的制备方法

摘要

本发明涉及镀膜工艺技术领域，尤其是涉及一种聚对二甲苯有机靶的制备方法，该制备方法采用真空气相沉积，通过在真空条件下,将粉体聚对二甲苯粉升华，沉积在低温靶座上，获得聚对二甲苯有机靶，本发明制备的聚对二甲苯有机靶，表面致密光滑，密度达到聚对二甲苯的理论密度，含氧量小于0.05%，孔隙率小于0.5%，材料吸附率低，因此在150℃升华时，靶材中的氧及水份的影响极小，用于镀膜生产，生产品质稳定，并且一次更换靶材可以使用1个月左右时间，无需频繁换靶，节约镀膜周期；工艺简单，投资成本低，节能、环保。

主权项

一种聚对二甲苯有机靶的制备方法，其特征在于：该制备方法采用真空气相沉积，通过在真空条件下,将粉体聚对二甲苯粉升华，沉积在低温靶座上，获得聚对二甲苯有机靶，具体步骤如下：步聚1）、将聚对二甲苯粉称重并加入真空炉中的加热槽里；步骤2）、将加工好的靶座安装在真空炉中；步骤3）、将真空炉抽真空到达1Torr，进行真空等离子清洗，将靶座表面的水汽及氧去除，并产生一定粗化效果，增加靶座表面的结合力；步骤4）、将真空炉抽真空到达0.1Torr，然后通入10sccm的氩气保护，真空炉升温至150摄氏度，将粉体聚对二甲苯粉升华，同时将靶座通过水冷控制在35摄氏度以内，以便升华的聚对二甲苯沉积在靶座上，真空沉积时间40小时，制备出聚对二甲苯有机靶。