[发明专利]具有电容式安全屏蔽的设备

摘要

本发明提供了一种半导体设备，该半导体设备包括电容式安全屏蔽结构，该电容式安全屏蔽利用形成在介质层内的一组随机分布的介电粒子或导电粒子。一组电极能够被配置为至少两组，其中第一组用于测量电容特性，第二组被配置为非测量组。可以改变电极配置以使得可以获得多个测量。

主权项

一种半导体设备，其特征在于，该半导体设备包括电容式安全屏蔽，该电容式安全屏蔽包括：形成在介质层(12)内的一组随机分布的介电粒子或导电粒子(14)；形成在一层中的一组电极(16,18,20；30,32,34)，所述一组随机分布的介电粒子或导电粒子形成在这一层之上；以及控制器(52)，控制器(52)适用于将电极配置为至少两组，其中第一组(16)用于测量电容特性，第二组(18，20)被配置为非测量组，控制器还适用于将电极重新配置成不同的第一组和第二组，被重新配置的第一组用于测量重新配置的电容特性。