[发明专利]无缝塑模的制造方法有效
| 申请号： | 201410290520.0 | 申请日： | 2009-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN104076600B | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 铃木胜;三田村哲理;前田雅俊 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 李晓 |
| 地址： | 日本国东京都千代*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的无缝塑模的制造方法具备在套筒形状的塑模上形成热反应型抗蚀剂层的工序和通过使用激光对所述热反应型抗蚀剂层进行曝光显影形成微细的塑模图样的工序，其特征是，所述热反应型抗蚀剂层由在上述激光点径的光强度分布中，具有在规定的光强度以上进行反应的特性的热反应型抗蚀剂所构成。 | ||
| 搜索关键词： | 无缝 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种无缝塑模的制造方法，其具备：通过在套筒形状的塑模上形成蚀刻层和热反应型抗蚀剂层的工序，和使用半导体激光曝光，显影曝光部分，显影后蚀刻，再除去热反应型抗蚀剂层形成微细塑模图样的工序，其特征是，所述热反应型抗蚀剂层由在上述激光点径中具有温度分布的热反应型抗蚀剂所构成，所述温度分布含有所述热反应型抗蚀剂在规定的温度以上进行反应的区域；该抗蚀剂为通过曝光产生相变化或化学反应的类型。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旭化成株式会社，未经旭化成株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410290520.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
