[发明专利]一种氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的制备方法有效
| 申请号： | 201410290678.8 | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN104089801A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 周莹;王虎;吴伟;曾毅;徐建;刘紫微 | 申请（专利权）人： | 上海市计量测试技术研究院;中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/44 |
| 代理公司： | 上海世贸专利代理有限责任公司 31128 | 代理人： | 李浩东 |
| 地址： | 200233 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的制备方法。a、对氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样进行表面处理，b、将氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样固定在氩离子束研磨仪的样品台上，调节氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的中心，c、抽真空至1×10-5～1×10-3Pa，先后三次调整且每次调整样品台的倾斜角度为60°～85°再对氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样进行氩离子束研磨，d、将氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样倾斜角度回复到0°，对氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样进行喷镀处理。本发明具有具有无剪切应力残留，无磨料污染，无划痕，试样损伤小等特点，菊池带具有较高的清晰度，电子衍射花样的标定率在95%以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锆 热障 涂层 电子 散射 衍射 试样 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的制备方法，其特征是：a、对氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样进行表面处理， b、将氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样固定在氩离子束研磨仪的样品台上，调节样品台的三维位置使得氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样在进行氩离子束研磨时，氩离子束作用在氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的中心，且在样品台呈90°倾斜时，氩离子束与氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样的表面相切，c、在氩离子束研磨仪的样品室内置入氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样后抽真空至1×10‑5～1×10‑3Pa，先后三次调整且每次调整样品台的倾斜角度为60°～85°再对氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样进行氩离子束研磨，d、氩离子束研磨结束后，将氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样倾斜角度回复到0°，对氧化锆热障涂层的电子背散射衍射试样进行喷镀处理。
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