[发明专利]一种触控屏感应器的制作方法在审
| 申请号： | 201410291154.0 | 申请日： | 2014-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN104035622A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 向火平 | 申请（专利权）人： | 深圳市点燃科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 张秋红 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路鲤鱼门街一号前*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种触控屏感应器的制作方法。该方法包括以下步骤：对溅射有氧化铟锡层的玻璃基板或PET板进行清洗并干燥；在黄光条件下，采用覆膜方式在氧化铟锡层上覆上固态光刻胶；将覆上固态光刻胶的玻璃基板或PET板放置在掩膜版上，曝光固态光刻胶；使用显影液将横向电极的图案或纵向电极的图案显影，去除固态光刻胶中没有发生曝光反应的区域；采用蚀刻液对氧化铟锡层进行蚀刻，去除氧化铟锡层中没有覆盖有已曝光的固态光刻胶的区域；采用去墨液将固态光刻胶中发生曝光反应的区域去除，清洗并干燥；在玻璃基板或PET板上、横向电极或纵向电极边缘制作金属引线。该方法工艺简单、固态光刻胶成膜均匀，便于控制显影与蚀刻时间，保证产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 触控屏 感应器 制作方法 | ||
【主权项】：
一种触控屏感应器的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：S1：对溅射有氧化铟锡层的玻璃基板或PET板进行清洗并干燥；S2：在黄光条件下，采用覆膜方式在所述氧化铟锡层上覆上固态光刻胶；S3：将覆上所述固态光刻胶的所述玻璃基板或PET板放置在掩膜版上，曝光所述固态光刻胶；S4：使用显影液将横向电极的图案或纵向电极的图案显影，去除所述固态光刻胶中没有发生曝光反应的区域，并清洗；S5：采用蚀刻液对氧化铟锡层进行蚀刻，去除所述氧化铟锡层中没有覆盖有已曝光的所述固态光刻胶的区域，并清洗；S6：采用去墨液将所述固态光刻胶中发生曝光反应的区域去除，清洗并干燥，以制得所述横向电极或纵向电极；S7：在所述玻璃基板或PET板上、所述横向电极或纵向电极边缘制作金属引线，完成触控屏感应器的制作。
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