[发明专利]真空热压烧结装置以及测温方法有效
| 申请号： | 201410298078.6 | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN105333726B | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;王钜宝 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | F27B5/05 | 分类号： | F27B5/05;F27B5/18;F27B5/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 高静,骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空热压烧结装置以及测温方法，包括设有发热体的密闭炉体、一端设于密闭炉体内，另一端伸出密闭炉体的测温单元、设于测温单元与密闭炉体连接处的第一密封固定单元，还包括移动单元，在测温单元测量的温度达到阈值温度时改变所述测温单元位于所述密闭炉体内的一端相对于所述发热体的距离；以及定位单元。本发明还提供一种测温方法，包括对真空烧结装置中位于密闭炉体内的发热体进行温度测量；当发热体的温度低于阈值温度时减小测温单元与发热体之间的距离或者接触发热体；当发热体的温度高于阈值温度时增大测温单元与发热体之间的距离。本发明在保证密闭炉体的密封性的同时，尽量精确的测量发热体的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 热压 烧结 装置 以及 测温 方法 | ||
【主权项】：
一种真空热压烧结装置，其特征在于，包括：密闭炉体，所述密闭炉体内设有发热体；与所述密闭炉体活动连接，并用于测量所述密闭炉体内部发热体温度的测温单元，所述测温单元的一端设于所述密闭炉体内，另一端伸出所述密闭炉体；与测温单元位于密闭炉体之外的一端相连接的移动单元，用于在测温单元测量的温度达到阈值温度时改变所述测温单元位于所述密闭炉体内的一端相对于所述发热体的距离；与移动单元电连接的定位单元，用于控制所述测温单元被移动的距离。
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