[发明专利]记忆体阵列及其非挥发性记忆装置有效
申请号: | 201410298341.1 | 申请日: | 2014-06-27 |
公开(公告)号: | CN104464805B | 公开(公告)日: | 2018-06-12 |
发明(设计)人: | 林崇荣;金雅琴 | 申请(专利权)人: | 卡比科技有限公司 |
主分类号: | G11C16/06 | 分类号: | G11C16/06;H01L27/112 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹市东*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明揭露一种记忆体阵列及其非挥发性记忆装置。非挥发性记忆装置包含:基板区、二储存单元、间隙壁结构及二控制单元。二储存单元包含:各与基板区间形成有栅极介电层的二反熔丝栅极结构以及二扩散区。间隙壁结构形成于基板区上及反熔丝栅极结构间,接触于反熔丝栅极结构。扩散区分别为以第一型杂质布植的第一布植区,分别接触于二反熔丝栅极结构其中之一。控制单元各包含:选择栅极以及第二布植区。选择栅极形成于基板区上,并与基板区间形成有介电层,其第一侧与储存单元的二扩散区其中之一接触。第二布植区以第一型杂质布植形成于基板区中,并接触选择栅极的第二侧。 | ||
搜索关键词: | 栅极结构 反熔丝 基板区 储存单元 非挥发性 记忆装置 选择栅极 布植区 扩散区 记忆体阵列 间隙壁结构 布植 基板 栅极介电层 介电层 | ||
【主权项】:
一种非挥发性记忆装置,其特征在于,包含:一基板区;二储存单元,包含:二反熔丝栅极结构,形成于该基板区上,并各与该基板区间形成有一栅极介电层;以及二扩散区,分别为以一第一型杂质布植的一第一布植区,形成于所述二反熔丝栅极结构的两侧的该基板区中,并分别接触于所述二反熔丝栅极结构其中之一;一间隙壁结构,形成于该基板区上及所述二反熔丝栅极结构间,并接触于所述二反熔丝栅极结构,其中该间隙壁结构隔离该二储存单元;以及二控制单元,各包含:一选择栅极,形成于该基板区上,并与该基板区间形成有一介电层,该选择栅极的一第一侧与该储存单元的所述二扩散区其中之一接触;以及一第二布植区,以该第一型杂质布植形成于该基板区中,并接触该选择栅极的一第二侧。
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