[发明专利]线放电加工设备和方法、电源设备、半导体基板制造方法

摘要

本发明涉及线放电加工设备、线放电加工系统、电源设备、线放电加工方法和制造半导体基板的方法，其中线放电加工设备包括多个主辊，线平行地缠绕所述多个主辊；多个工件给进单元，用于将所述工件向着线给进；加工电源单元，用于向所述工件供应加工电压；电源端子，用于向线供应所述加工电压。所述多个工件给进单元分别布置在第一位置和第二位置，在所述第一位置，向着具有线的线平面的线部分给进工件，在所述第二位置，向着具有线的另一线平面的另一线部分给进另一工件。所述电源端子布置在所述第一位置和所述第二位置之间的第三位置。从单个加工电源单元供应的加工电压被供应到将由所述多个工件给进单元而被放电加工的工件。

主权项

一种用于对工件进行放电加工的线放电加工设备，所述线放电加工设备包括：多个主辊，线平行地缠绕所述多个主辊；多个工件给进单元，被布置成将所述工件向着缠绕所述多个主辊的线给进；加工电源单元，被构造成向所述工件供应加工电压；以及电源端子，被构造成向缠绕所述多个主辊的线供应所述加工电压，其中所述多个工件给进单元分别布置在第一位置和第二位置，在所述第一位置，向着具有平行缠绕所述多个主辊的线的线平面的线部分给进工件，在所述第二位置，向着具有平行缠绕所述多个主辊的线的另一线平面的另一线部分给进另一工件，其中所述电源端子布置在所述第一位置和所述第二位置之间的第三位置，在所述第三位置，线平行缠绕所述多个主辊，其中所述加工电压被从单个加工电源单元供应到将由所述多个工件给进单元而被放电加工的工件，并且其中布置有所述电源端子的所述第三位置被配置为当具有在放电加工之前预先测得的大致相同的电阻率值的工件分别被所述多个工件给进单元放电加工时，能够被改变到第一距离和第二距离彼此相等的位置，所述第一距离是线平行缠绕所述多个主辊的所述第三位置和所述第一位置之间的距离，所述第二距离是线平行缠绕所述多个主辊的所述第三位置和所述第二位置之间的距离。